スパッタリングターゲット

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2元系、3元系と多くの金属間化合物が簡単にコーティングできる手法

反射膜(増反射膜)、反射防止膜(AR膜は外での視認性を上げる)、防汚処理(指紋防止膜)など真空コーティング(スパッタ法)で行う事で輝度を高くする事ができる。

反射膜については光源回りのレフレクターへの応用などに期待できる。

反射防止膜については、特に車載用のタッチパネルへの視認性をUP、蒸着よりスパッタ

法の方が高い輝度がえられる。

これらのタッチパネル(AR膜)へは、防汚処理(指紋防止膜)などが絶対にひつようである。(スマートフォンのディスプレイ画面や車載用のナビゲーションパネルなどには既に実施済である。)

希土類元素(レアメタル)は高価な材料なので節約として真空蒸着やイオンプレーティング法での希土類元素材料(レアメタル)をコーティングして材料の機能や特徴を持たせる。

スパッタ法による光学膜もあります。

多くはEBを用いての光学膜が多いが、特殊なプロセス(MM法:メターモードスパッタ法式は、プラスチック基板への多層膜成膜が可能である。)また、金属の極薄膜を酸化させるためアモロファス状の緻密な膜が得られる。スパッタプロセスと酸化プロセスを分離しているので低温での成膜が可能です。

基板温度は60℃が可能です。を用いたスパッタ法での光学膜は、輝度が高く低温でのコーティングが可能です。

また、防汚処理(指紋防止膜)を真空を破らずに行う事で密着の良い防汚処理(指紋防止膜)が可能です。

最近では、車載用のナビゲーションのタッチパネルが大型化しており、需要が高まっております。

基板もガラス、プラスチック材など低温でのコーティングが求められておりますことから

AR膜(反射防止膜)、カラーハーフミラー、反射膜(ミラー膜)、タッチパネル用のITO膜コールドミラー、光学フイルター膜(TiONbOSiO2ITO、他)

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