TiN膜のガス放出特性を活用
プラズマを扱う大学、研究所などでは（超高真空中と言う環境を使って研究します。）チャンバー
内のガス放出をいかにして抑制するかがキイーになり、特殊方式でのTiN膜を使う事で、TiN膜
がコーティングされたチャンバー内壁や、内部冶具からの放出ガスを抑制でき、安定的な高密度
のプラズを得る事と、極高真空領域を得ることのお手伝いができます。
極高真空を測定するための真空計の開発部署で使われたり、東海村の日本原子力研究開発機構の
J-PARC（大強度陽子加速器）の３Gevリングの部分的な所の超高真空ダクト内面に特殊TiN薄
膜が採用されていたり、高密度のプラズマ加速器用につかっている電子をキックするさいのセラ
ミックダクトの内面への薄膜TiN膜がほどこされている。
３Gevのリングからニュートリノをスーパーカミオカンデ飛ばして、当時のノーベル物理学賞受
賞者で小柴昌俊さんが中心になって研究されていて、既に東海村のJ-PARCで作られたニュート
リノビームが岐阜県飛騨のスーパーカミオカンデ素粒子のニュートリノ観測所で確認されたとの
報告があった。
また、真空内部を走るビームをコントローるする強力なマグネットへのコーティング（以前はマ
グネットを真空ダクトの大気側に配置）、精度の良いビームコントロールを行うため真空内部へマ
グネット（ネオジウム/鉄/ボロン系の大強度）兵庫県播磨にありますスプリング８（Spring８と言
う加速器）に採用されている。
また、超高真空内壁へTiN膜（～10nm膜厚）などで、壁電流を抑制する目的で薄膜をコーティングするようである。
また、これら加速器を利用して、中性子を取り出して癌治療などに使うことなどが研究されてお
り、スプリング８（Spring８と言う加速器）が民間に貸し出しておりまして、放射光からビームを
取り出して、多くの大学、民間企業が利用して医療や、産業用としての使い道を研究している。
理化学研究所が管理している。
加速器の医療への応用につきましては今後、都道府県の主要な病院に直径１０ｍ～２０ｍぐらい
の規模の加速器が将来設置されて、医療への大きな貢献となるようだ。
加速器同様、最近、重力波を測定する片腕３ｋｍと長い真空ダクトないのビームの揺らぎで
